設備一覧

  • 電界放射型透過電子顕微鏡（FE-TEM）    Field Emission Transmission Electron Microscope
      　集束性に優れた電界放射電子ビーム源を持つ加速電圧200keVの透過型電子顕微鏡。
       　エネルギー分散型のX線分光装置を備え極微小部の組成分析が高感度で行える。 （日立製作所製 FE2000）

　　　

  • X線光電子分光装置（ESCA）    Electron Spectroscopy for Chemical Analysis

  • 集束イオンビーム加工装置（FIB）     Focused Ion Beam Etching Machine

  • 振動試料型磁力計（VSM）    High Magnetic Field Vibrating Sample Magnetometer（VSM）

  • SPM（AFM、MFM、STM）    Scanning Probe Microscope

  • エリプソメータ

傾斜エッチングを施したSiO2膜の膜厚分布（上）、純水中での陽極酸化膜の膜厚分布（下）

  • 薄膜作製スパッタリング装置

　　　<設備例> 

　　　　磁性膜製膜装置

  • SEMその場観察可能引張り試験機（サーボパルサ）

          <設備例>

　　　　サーボパルサーＳＥＭ

　Field Emission Scanning Electron Microscope

　High Speed Dynamic Tester of Magnetic Domains